碳化硅陶瓷泵的燒結(jié)方法主要有：無壓燒結(jié)，熱壓燒結(jié)，熱等靜壓燒結(jié)，反應(yīng)燒結(jié)。

　　無壓燒結(jié)是一種常規(guī)的燒結(jié)方法，它是指在以高純、超細(xì)碳化硅粉為原料，加入少量的燒結(jié)助劑，如硼、碳等，在大氣壓力下的惰性氣體或真空氣氛中，高溫下燒結(jié)，這是***常用，也是***簡(jiǎn)單的一種燒結(jié)方式。

　　熱壓燒結(jié)是將碳化硅干粉料和相關(guān)添加元素如B,Al,Fe等放入模型內(nèi)單軸方向邊加壓邊加熱，使碳化硅陶瓷泵成型和燒結(jié)同步進(jìn)行。

　　熱壓燒結(jié)的特點(diǎn)：熱壓燒結(jié)由于加熱加壓同時(shí)進(jìn)行，粉料處于熱塑性狀態(tài)，有助于顆粒的接觸擴(kuò)散、流動(dòng)傳質(zhì)過程的進(jìn)行，因而成型壓力僅為冷壓的1/10;還能降低燒結(jié)溫度，縮短燒結(jié)時(shí)間，從而抵制晶粒長(zhǎng)大，得到晶粒細(xì)小、致密度高和機(jī)械、電學(xué)性能良好的碳化硅陶瓷泵。無需添加燒結(jié)助劑或成型助劑，可生產(chǎn)超高純度的陶瓷產(chǎn)品。熱壓燒結(jié)的缺點(diǎn)是過程及設(shè)備復(fù)雜，生產(chǎn)控制要求嚴(yán)，模具材料要求高，能源消耗大，生產(chǎn)效率較低，生產(chǎn)成本高。

　　熱等靜壓燒結(jié)，也稱高溫等靜壓燒結(jié)，是使材料(粉末、素坯或燒結(jié)體)在加熱過程中經(jīng)受各向均衡壓力，借助于高溫和高壓的共同作用促進(jìn)材料致密化的工藝。該工藝是在1955年由美國(guó)Bfittelle Columbus實(shí)驗(yàn)室首先研制成功的，其***初主要應(yīng)用于粉末冶金領(lǐng)域，隨著設(shè)備所能達(dá)到的溫度和壓力的不斷提高，又成功地應(yīng)用到碳化硅陶瓷泵的高溫?zé)Y(jié)。

　　熱等靜壓燒結(jié)技術(shù)的特點(diǎn)：可在較低燒結(jié)溫度下制備出微觀結(jié)構(gòu)均勻、晶粒較細(xì)且完全致密的材料;可制備出形狀復(fù)雜的產(chǎn)品，特別是在制備納米材料時(shí)對(duì)粉體的要求不高，甚至團(tuán)聚嚴(yán)重的粉體也可用于納米陶瓷的制備。

　　反應(yīng)燒結(jié)是將碳化硅細(xì)顆粒和助劑制成的素坯，在高溫下與N2或液態(tài)硅反應(yīng)，生成β-SiC，或者N4Si3,反應(yīng)過程中氣孔得到填充，從而得到高致密的陶瓷材料。但是反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷泵對(duì)HF酸和其他超強(qiáng)酸的抗腐蝕性較差。

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